在线反馈
l 自主知识产权
l 实用化与精密化
l 稳定性好、可靠性高
l 操作简便、工作寿命长
应用
n 深紫外激光角分辨光电子能谱仪
n 深紫外激光光发射电子显微镜
n 深紫外激光拉曼光谱仪等仪器
参数
技术指标
激光波长
177.3nm
平均功率
1-100mW
重复频率
10Hz-kHz-MHz(按需定制)
脉冲宽度
ns-ps-fs级(按需定制)
激光器尺寸
<1000*300*500mm3