177nm深紫外固体激光器(DPL-DUV-177-ns/ps/fs)

177nm深紫外固体激光器(DPL-DUV-177-ns/ps/fs)


该型激光器基于我国自主知识产权的深紫外KBBF晶体及其棱镜耦合相位匹配PCT专利技术,采用1064nm Nd:YAG激光六倍频产生177nm激光输出,是当前唯一可实用化与精密化的200nm以下固体激光源。

l  自主知识产权

l    实用化与精密化

l    稳定性好、可靠性高

l    操作简便、工作寿命长

应用

n  深紫外激光角分辨光电子能谱仪

n  深紫外激光光发射电子显微镜

n    深紫外激光拉曼光谱仪等仪器

参数

技术指标

激光波长

177.3nm

平均功率

1-100mW

重复频率

10Hz-kHz-MHz(按需定制)

脉冲宽度

ns-ps-fs级(按需定制)

激光器尺寸

<1000*300*500mm3


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